Nikon新开发的高精度、高速量测及高NA的CNC影像量测仪VMZ-R Series，不只在精度上再升级，在Ｚ轴的量测高度上也做了提升，让产品的量测拥有更高的多元性。
●新雷射系统
除原有影像对焦及雷射对焦、扫描等功能，新的雷射感应器也可量测膜的表面及底部，进而测量膜厚。
●创新光源设计
表面光、底部光及环型光皆采用LED的設計，光源更稳定且寿命更長。
环型光源有三种不同照射角度且八方向的设计，让边界的量测更加简易。

产品阵容为各种样品提供高速、高精度的测量。
NEXIV VMZ-S系列产品阵容
8段环形光照明器
标准放大变倍镜头（类型1-3）配置8段Led内外环形照明器，与此同时支持反射光和透射光照明器。光源强度可以通过改变8段LED环形照明器的照射角度来进行轻松调整。
*类型4的8段环形照明器的照射角度角度是50°，类型A是18°。
15x快速变倍
基于15倍变倍比下5段速度高速变倍系统实现兼顾低倍率下的大视野以及高倍率下的高分辨率检测（可供类型1，2，3，4镜头）

型号
VMZ-S3020
VMZ-S4540
VMZ-S6555
XYZ行程
300x200x250mm*类型TZ配置低倍放大镜头：250x200x200mm
450x400x200mm*类型TZ配置低倍放大镜头：400x400x200
650x550x200mm*类型TZ配置低倍放大镜头：600x550x200
读数
≥0.01μm
样品质量
20kg（精度保证：5kg）
40kg（保证精度20kg）
50kg（保证精度30kg）
允许误差（L：长度mm）
EUX,MPE EUY,MPE
≤1.2 + 4L/1000 μm
EUXY,MPE
≤2.0 + 4L/1000 μm
EUZ,MPE
≤1.2 + L/1000 μm
探测误差1),2):MPE PF2D0.8μm
影像探头探测误差1),2):MPE PFV2D0.3μm
工作距离
类型1，2和3
类型4
类型TZ
类型A
50mm
30mm
（高倍率）11mm/（低倍）32mm
73.5mm（加激光自动对焦的工作距离是63mm）
相机
黑白/彩色1/3CMOS相机
自动聚焦
激光自动对焦（可选类型A）/影像自动聚焦
激光自动聚焦重复性范围1),3)
2σ ≤ 0.5 μm
照明
类型1，2，3和4：反射、透射以及8段3角度环形*皆配置白光LED/类型4仅仅支持一个入射角。
类型TZ：左物镜：反射，暗场；右物镜：反射，透射，暗场。
类型A：反射光，透射光，以及8段单角度环形*以上皆配置白光LED。
电源/电源功耗
AC 100V-240V，50/60Hz/4A-2A
外形尺寸&质量
主体含平台（宽X长X高）：700X730X1793mm/约265kg
控制器：190X450X450mm/约12kg
主体含平台（宽X长X高）：1000x1340x1818mm/约510kg
控制器：190x450x450mm/约12kg
主体含平台（宽X长X高）：1200x1640x1818mm/约740kg
控制器：190x450x450mm/约12kg
